ICP是電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀。根據(jù)檢測(cè)器的不同分為ICP—OES（電感耦合等離子發(fā)射光譜儀，也稱(chēng)ICP-AES）和ICP-MS（電感耦合等離子質(zhì)譜儀）。兩者均能測(cè)元素周期表中的絕大部分元素，但能測(cè)得元素稍微有異，檢測(cè)能力上后者要比前者高。因?yàn)?span>ICP光源具有良好的原子化、激發(fā)和電離能力，所以它具有很好的檢出限。對(duì)于多數(shù)元素，其檢出限一般為0.1～100ng/ml，可以同時(shí)測(cè)試多種元素，靈敏度高，檢測(cè)限低，測(cè)試范圍寬（低含量成分和高含量成分能夠同時(shí)測(cè)試）。
　　ICP-6800（電感耦合等離子體原子發(fā)射譜儀），它基于物質(zhì)在高頻電磁場(chǎng)所形成的高溫等離子體中有良好的特征譜線發(fā)射，再以半導(dǎo)體檢測(cè)器檢測(cè)這些光譜能量，參照同時(shí)測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)溶液計(jì)算出試液中待測(cè)元素的含量。ICP-AES測(cè)試的有效波長(zhǎng)范圍是120-800nm，因?yàn)樵影l(fā)射光譜的所有相關(guān)信息都集中在這個(gè)范圍內(nèi)。其中，120-160nm波段尤其適用于分析鹵素或者某些特殊應(yīng)用的替代譜線。
　　注：測(cè)試的有效波長(zhǎng)范圍跟儀器當(dāng)然也直接相關(guān)，有些儀器只能測(cè)160nm以上的波段。一般情況下，ICP-AES測(cè)試的都是液體樣品，因此測(cè)試時(shí)需要將樣品溶解在特定的溶劑中（一般就是水溶液）；測(cè)試的樣品必須保證澄清，顆粒、懸濁物有可能堵塞內(nèi)室接口或者通道；溶液樣品中不能含有對(duì)儀器有損壞的成分（如HF和強(qiáng)堿等）。由于現(xiàn)在ICP發(fā)射光譜技術(shù)用到了越來(lái)越多的離子線，“原子發(fā)射光譜儀"已經(jīng)不是那么科學(xué)，所以現(xiàn)在都叫OES了。
　　ICP—OES可同時(shí)分析常量和痕量組分，無(wú)需繁復(fù)的雙向觀測(cè)，還能同時(shí)讀出、無(wú)任何譜線缺失的全譜、直讀等離子體發(fā)射光譜儀，具有檢出限極低、重現(xiàn)性好，分析元素多等顯著特點(diǎn)，ICP-OES大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素也可得到亞ppb級(jí)的檢出限。ICP-OES的檢測(cè)元素如下圖：

　　ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀以質(zhì)譜儀作為檢測(cè)器，通過(guò)將樣品轉(zhuǎn)化為運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)離子并按質(zhì)荷比（M/Z）大小進(jìn)行分離并記錄其信息來(lái)分析。若其所得結(jié)果以圖譜表達(dá)，即所謂的質(zhì)譜圖。ICP-MS的進(jìn)樣部分及等離子體和ICP-AES的是極其相似的。但ICP-MS測(cè)量的是離子質(zhì)譜，提供在3～250amu范圍內(nèi)每一個(gè)原子質(zhì)量單位（amu）的信息。還可進(jìn)行同位素測(cè)定。
　　ICP-MS具有極低的檢出限，其溶液的檢出限大部份為ppt級(jí)，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級(jí)，但由于ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS的檢出限實(shí)際上會(huì)變差多達(dá)50倍，一些輕元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有嚴(yán)重的干擾，其實(shí)際檢出限也很差。ICP-MS的檢測(cè)元素和檢測(cè)極限如下圖：

整體來(lái)說(shuō)，ICP-OES和ICP-MS可分析的元素基本一致，不過(guò)由于分析檢測(cè)系統(tǒng)的差異，兩者的檢測(cè)限有差異：ICP-MS的檢測(cè)限很低，蕞郝的可以達(dá)到ng/L（ppt）的水平；而ICP-AES一般是ug/L（ppb）的級(jí)別。不過(guò)ICP-MS只能分析固體溶解量為0.2%左右的溶液（因此經(jīng)常需要稀釋?zhuān)?span>ICP-AES則可以分析固體溶解量超過(guò)20%的溶液。